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陳學(xué)東院士開講:IC光刻機(jī)的減振
武漢教育電視臺(tái)
原創(chuàng)
視頻簡(jiǎn)介:
芯片,相當(dāng)于人的心臟,心臟不強(qiáng),體量再大也不算強(qiáng);而減振器是光刻機(jī)的“基石”,基礎(chǔ)不牢則地動(dòng)山搖。陳院士甘坐冷板凳,肯下苦功夫,瞄準(zhǔn)世界一流,實(shí)現(xiàn)IC光刻機(jī)減振的關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控,把這個(gè)技術(shù)的創(chuàng)新主動(dòng)權(quán)、發(fā)展主動(dòng)權(quán)牢牢掌握在我們自己手中。