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C-V特性曲線

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應用

當所加電壓改變時,電容被測出。該方法是使用金屬-半導體結(jié)(肖特基勢壘)或者PN結(jié)或者場效應管來得到耗盡層(其中載流子被全部抽走,但仍然有離子化的施主或晶體缺陷)。當電壓改變時,耗盡層深淺也發(fā)生變化。1

金屬-氧化物-半導體結(jié)構的C-V特性

金屬-氧化物-半導體結(jié)構是MOSFET的一部分,用來控制晶體管溝道中勢壘的高低。

對于一個n溝道MOSFET來說,該結(jié)構的工作特性可分為三個部分,分別與圖1對應:

累積

考慮一個p型的半導體(電洞濃度為N**A)形成的MOS電容,當給電容器加負電壓時,電荷增加(如C-V曲線右側(cè)所示)。

耗盡

相反,當一個正的電壓V**GB施加在閘極與基極端時,電洞的濃度會減少(稱為耗盡,如C-V曲線中間所示),電子的濃度會增加。

反型

V**GB夠強時,接近閘極端的電子濃度會超過電洞。這個在p-type半導體中,電子濃度(帶負電荷)超過電洞(帶正電荷)濃度的區(qū)域,便是所謂的反轉(zhuǎn)層(inversion layer),如C-V曲線右側(cè)所示。

MOS電容的特性決定了金氧半場效晶體管的操作特性,但是一個完整的金氧半場效晶體管結(jié)構還需要一個提供多數(shù)載流子(majority carrier)的源極以及接受這些多數(shù)載子的汲極。2

摻雜 (半導體)

摻雜(英語:doping)是半導體制造工藝中,為純的本征半導體引入雜質(zhì),使之電氣屬性被改變的過程。引入的雜質(zhì)與要制造的半導體種類有關。輕度和中度摻雜的半導體被稱作是雜質(zhì)半導體,而更重度摻雜的半導體則需考慮費米統(tǒng)計律帶來的影響,這種情況被稱為簡并半導體。

摻雜之后的半導體能帶會有所改變。依照摻雜物的不同,本征半導體的能隙之間會出現(xiàn)不同的能階。施體原子會在靠近導帶的地方產(chǎn)生一個新的能階,而受體原子則是在靠近價帶的地方產(chǎn)生新的能階。假設摻雜硼原子進入硅,則因為硼的能階到硅的價帶之間僅有0.045電子伏特,遠小于硅本身的能隙1.12電子伏特,所以在室溫下就可以使摻雜到硅里的硼原子完全解離化。

摻雜物對于能帶結(jié)構的另一個重大影響是改變了費米能階的位置。在熱平衡的狀態(tài)下費米能階依然會保持定值,這個特性會引出很多其他有用的電特性。舉例來說,一個p-n結(jié)的能帶會彎折,起因是原本p型半導體和n型半導體的費米能階位置各不相同,但是形成p-n結(jié)后其費米能階必須保持在同樣的高度,造成無論是p型或是n型半導體的導帶或價帶都會被彎曲以配合界面處的能帶差異。1

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