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金屬靶材的關(guān)鍵工藝及其在科技的作用

上傳時(shí)間：2024-02-27 20:14

中國有色金屬學(xué)會(huì)

金屬靶材

中國有色金屬學(xué)會(huì)科普中國官方賬號

視頻簡介：在物理氣象沉積如建設(shè)或蒸發(fā)過程中，金屬靶材被用來在基底上沉積出一層均勻的金屬薄膜，這層薄膜的質(zhì)量，純度和均勻性直接影響最終產(chǎn)品的性能，因此金屬靶材角色在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色。

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